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收藏 2022-08-07

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    请参考图10a所示,其为根据本申请一实施例的半导体基板的结构1000的剖面示意图。和图9所示的实施例不同之处,在于该结构1000包含了金属层1010与树酯层1040。为了减薄在边框结构与内框结构之间的金属层810,可以在上述区域中使用较厚的树酯层1040来替换掉金属层1010的金属。和图9所示的结构900相比,该金属层1010的第四表面1014与该晶圆层820的***表面821的**短距离,要小于该金属层810的第四表面与该晶圆层820的***表面的**短距离。由于该结构1000的金属层1010的大部分比该结构900的金属层810的大部分较薄,因此可以节省金属本身的成本,也可以节省制作该金属层810的步骤的成本。请参考图10b所示,其为根据本申请一实施例的半导体基板的结构1000的剖面示意图。图10b所示的实施例是图10a所示实施例的一种变形。和图10a的金属层1010相比,图10b所示实施例的金属层1010比较厚。图10b所示实施例的其余特征均与图10a所示实施例相同。请参考图11a所示,其为根据本申请一实施例的半导体基板的结构的剖面1100的一示意图。该结构的剖面1100可以是图8a所示结构800的cc线剖面,也可以是图9所示结构900的cc线剖面,还可以是图10b所示结构1000的dd线剖面。为了方便说明起见。大连半导体晶圆推荐厂家半导体晶圆厂家供应。

    在步骤33050中,待气泡内的温度降至一定程度后,声波电源再次被设置为频率为f1及功率为p1。在步骤33060中,将检测到的断电时间与预设时间τ2进行比较,如果检测到的断电时间短于预设时间τ2,则关闭超声波或兆声波电源并发出报警信号。在步骤33070中,检查晶圆的清洁度,如果晶圆尚未清洁到所需程度,则重复步骤33010-33060。或者,可能不需要在每个周期内检查清洁度,取而代之的是,使用的周期数可能是预先用样品晶圆通过经验确定。图34揭示了根据本发明的另一个实施例的晶圆清洗工艺的流程图。该晶圆清洗工艺从步骤34010开始,首先向晶圆和超声波或兆声波装置之间的间隙施加清洗液。在步骤34020中,设置超声波或兆声波装置的频率为f1,功率为p1以驱动超声波或兆声波装置。在步骤34030中,检测声波电源输出的振幅并将其与预设值进行比较,如果检测到的振幅高于预设值,则关闭电源并发出报警信号。在步骤34040中,在清洗液中的气泡气穴振荡损伤晶圆上的图案结构之前,设置电源输出为零。在步骤34050中,待气泡内的温度降至一定程度后,声波电源再次被设置为频率为f1及功率为p1。在步骤34060中,检查晶圆的清洁度,如果晶圆尚未清洁到所需程度,则重复步骤34010-34050。

    该中心凹陷区域位于该***内框结构区域当中,该***环状凹陷区域位于该边框结构区域当中。进一步的,为了更弥补较薄晶圆层的结构强度,其中该***芯片区域更包含该屏蔽层未覆盖的一第二环状凹陷区域与该屏蔽层覆盖的一第二内框结构区域,该***内框结构区域完全包围该第二环状凹陷区域,该第二环状凹陷区域包围该第二内框结构区域,该第二内框结构区域包围该中心凹陷区域。进一步的,为了保护该金属层,并且降低物理应力与热应力的影响,该晶圆制造方法更包含:在该金属层上涂布树酯层。进一步的,为了使用晶圆级芯片制造技术来加速具有上述基板结构的芯片制作,上述的各步骤是针对该晶圆层的该多个芯片区域同时施作。进一步的,为了使用晶圆级芯片制造技术来加速具有上述基板结构的芯片制作,该晶圆制造方法更包含:进行该多个芯片区域的切割。进一步的,为了使用晶圆级芯片制造技术来加速具有上述基板结构的芯片制作,该晶圆制造方法更包含:在该涂布树酯层的步骤之后,进行该多个芯片区域的切割。进一步的,为了让基板结构所承载的半导体组件的设计简化,其中该边框结构区域依序包含***边结构区域、第二边结构区域、第三边结构区域与第四边结构区域。半导体晶圆定制价格。

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    所述有机胺为二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺、多乙烯多胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、三丙胺,N,N-二甲基乙醇胺、N,N-甲基乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺和三乙醇胺一种或多种。所述有机羧酸选自丙二酸、草酸、乙二胺四乙酸盐和柠檬酸中的一种或者多种。所述胍类为四甲基胍、碳酸胍、醋酸胍、3-胍基丙酸、聚六亚甲基胍和对胍基苯甲酸。所述清洗液的pH值为2~5。实施例3一种用于半导体晶圆等离子蚀刻残留物的清洗液,其是由如下重量份数的原料组成:有机溶剂48份、氟化物12份、氯化物11份、甲基丙烯酸甲酯6份、有机胺7份、氨基酸14份、胍类15份、苯并三氮唑5份、有机羧酸19份、硫脲23份和水64份。所述有机溶剂为选自亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醚中的一种或多种。所述氟化物为氟化氢、或氟化氢与碱形成的盐。所述有机胺为二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺、多乙烯多胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、三丙胺,N,N-二甲基乙醇胺、N,N-甲基乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺和三乙醇胺一种或多种。所述有机羧酸选自丙二酸、草酸、乙二胺四乙酸盐和柠檬酸中的一种或者多种。所述胍类为四甲基胍、碳酸胍、醋酸胍、3-胍基丙酸、聚六亚甲基胍和对胍基苯甲酸。北京半导体晶圆推荐货源

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